摘要：微細電火花加工技術在難度較大的材料微細孔加工期間應用較為廣泛，在工業實踐中對于微細深孔的加工精度具有較高要求。而文章中主要對畫法微細孔電火花加工方面，精度的影響因素進行了分析。

　　關鍵詞：電火花加工;滑閥;微細孔;精度

　　0 引言

　　電火花加工屬于直接應用電能與熱能加工的全新工藝，此項加工技術是特種加工范疇中關鍵性技術。具體為在符合要求的介質中，經由工具電極與工件電極間的脈沖放電電蝕作用，完成工件加工任務的方法。電火花加工基于理論層面能夠加工所有導電材料，同時與材料強度及硬度存在相關關系，為此，在機械制造業中被廣泛應用。工業生產期間大深徑比孔的加工需求，促進了大深徑比孔加工技術的發展。有關學者經由在工具電極上涂覆絕緣層控制無效放電，極大的提升了加工期間的穩定性，可加工出直徑200μm，深徑比為120的微細孔。文章中以材料作為方向，對滑閥微細孔精度的影響進行了分析。

　　1 電火花加工原理

　　電火花加工方面的電蝕現象最初于19世紀末出現，例如插頭與開關啟閉時所產生的電火花與接觸表面可造成損害。而我國則在20世紀50年代展開了電火花設備的研究，同時在60年代研發出首臺依附于模仿形電火花線切割機床。電火花加工具體所指向的是，應用浸在工作液中的兩極間脈沖放電時所產生的電蝕作用，蝕除導電材料的特種加工手段。電火花加工得以實現需要建立在以下幾點條件之上：

　　第一，工具電極與工件電極間要求存在著適當的距離，能夠滿足脈沖電壓不斷擊穿介質，從而產生出火花放電，另一個方面還能夠充分適應在火花通道熄滅之后介質消電離，并排出蝕除產物要求[1]。如果兩極之間所存在的距離過長，脈沖電壓便無法順利擊穿介質，同時也無法產生出火花放電。如果此距離過小，兩極之間不會出現脈沖能量的消耗，無法完成加工操作。

　　第二，在兩極之間要求充入介質在做材料電火花尺寸加工期間，兩極之間屬于液體介質，材料電火花表層強化中，之間為氣體介[2]。

　　第三，輸送到兩極之間的脈沖能量密度需要確保在火花通道形成之后，脈沖電壓不會出現過于明顯的變化。基于此，通道電流密度能夠表征通道能量密度。密度足夠大可促使加工材料局部氣化，在被加工材料表層形成腐蝕痕，為電火花加工提供基礎條件。

　　第四，放電要求為短時間的脈沖放電脈沖。基于放電時間短，導致放電期間所產生的熱能無法及時在被加工材料中進行擴散，由此將能量作用約束到較小的范疇中，維持火花放電的冷極特性。

　　第五，脈沖放電要求重復多次開展，同時多次脈沖放電在時間與空間分散涉及到兩個層面的內涵。一方面，時間層面臨近兩個脈沖不在同一點上形成通道;另一個方面，如果處在一定時間范疇脈沖放電集中發生到某一個區域中，在另一段時間中，脈沖放電需要轉移到另外區域。此種要求的目的在于，可控制積碳現象的發生，進而規避電弧與局部燒傷問題。

　　電火花加工中，工具電極需要與工件及脈沖電源兩極進行連接，并將其放置到工作液中，也可將工作液放置到電間隙。兩個電極之間的間隙應該處在適合的距離基礎之上，兩個電極所給予的脈沖電壓擊穿工作液，最終達到火花放電的效果[3]。放電微細通道之中瞬間集中起的熱能可達到一萬攝氏度，為此會推動壓力的變化，而工作表面局部的微量金屬材料也會出現氣化的轉變，以爆炸的形式分布到工作液中，并在短時間內冷凝，轉化成為固體金屬微粒，隨工作液流走。后續脈沖電壓能夠在兩極臨近的另外部位擊穿，進而產生了火花放電，進入到重復的流程。不同脈沖放電蝕除的金屬量不多，每秒內大量脈沖放電會蝕除大量金屬。在保障工具電極與工件放電間隙不便的環境下，可蝕除工件金屬，同時還能夠推動工具電極向工件進給。另外，若想要確保加工出的形狀與工具電極形狀類似，僅僅需要整改工具電極形狀與工件間相對運動范式，可加工出各類型復雜的型面[4]。

　　2 電火花加工特征

　　電火花加工作為全新加工工藝與機械加工存在著本質上的差異。在工業生產發展與科技發展下，熔點與硬度以及強度均有得到提升，也由此出現了高粘性與高純度材料。近年來在工件加工中，復雜的結構與特殊材料等要求不斷提升，而在此情況下以往的機械加工手段無法完成加工任務，或面臨著較大的難度。除持續優化機械加工手段外，還應該探尋更為先進的加工辦法[5]。電火花加工辦法可迎合生產發展的需求，同時可呈現出諸多顯著優勢，從而獲取到快速發展。總結電火花加工特征包括以下幾點：第一，脈沖放電能量密度較高，可加工常規機械加工辦法攪拌加工的特殊材料[6]。不會受到材料硬度的干擾，同時也有效的規避了受熱處理情況的干擾。第二，脈沖放電持續的時間較短，放電期間所產生的熱量傳導在狹小的范圍內擴散[7]。第三，在加工期間工具電極與工件材料不會接觸，兩者之間的作用力影響下，工具電極制造更為方便。第四，能夠對工件的結構實現優化處理，節省不必要的加工環節，提升工件使用壽命，降低工作人員勞動量[8]。

　　3 滑閥微細電火花加工力影響模型

　　研究中應用臥式微細電火花加工裝置，同時在微細孔加工期間作出以下幾點假設：第一，工具電極在加工環節可能承受到的多種徑向力合力大小不會出現轉變，同時一直作用到電極末端[9]。第二，作用在電極的軸向力，基于其促使電極彎曲小，可不予以考慮。第三，基于同樣加工條件，同一個電極但長度不發生轉變，所受到的力一致。第四，實驗過程中電極的直徑應該不超過原始直徑，加工過程中電極彎曲處在電極被加工部分。第五，電極加工方面，彎曲與變形不明顯，能夠滿足材料力學上的要求。基于以上獲取到細微電火花加工過程中電極受力與變形模型，見圖1。

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